半導體兆聲清洗機—華林科納CSE
?Mega sonic cleaning machine
南通華林科納CSE-兆聲清洗機?適用于硅晶片 藍寶石晶片 砷化鎵晶片?磷化銦晶片 碳化硅晶片 石英晶片
可處理晶片尺寸2"-8"；
可處理晶圓材料：硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等；
主要應用領域：半導體 太陽能光伏 液晶等
![兆聲清洗機-CSE]( "兆聲清洗機-CSE")
![兆聲清洗機-CSE]( "兆聲清洗機-CSE")
?
設備名稱 | CSE-兆聲清洗機 |
類型 | 槽式 |
尺寸(參考) | 約3500（L）×1350 (W)×2300mm (H) |
清洗件規格 | 4” 2籃50片 |
設備凈重 | 1T |
運行重量 | 1.5T±10% |
電源 | 380v 50hz |
功率 | 70kw |
槽體尺寸 | 200mm*400mm*260mm |
槽數 | 6個 |
操作方式 | 手動/半自動/全自動 |
適用規格 | 2英寸-8英寸 |
適用領域 | 半導體、太陽能、液晶等 ? |
設備穩定性 | 1、清洗良品率≥99% 2、≥0.2um顆粒少于10顆 ? |
?
產品簡介 |
1 | 設備機架采用不銹鋼骨架外包PP板，耐酸堿腐蝕； |
2 | 電氣區設置在設備后上部，與濕區和管路區完全隔離； |
3 | 槽體材料選用耐相應溶液腐蝕的材料； |
4 | 機械手探入濕區部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理； |
5 | 設備排風采用頂部百級FFU送新風，臺面下抽風，每套工藝清洗槽都有自動開閉的槽蓋，槽蓋下有單獨的抽風裝置，排風口處設有自動調節風門，即上電打開風門，斷電關閉風門，具有風壓檢測功能，以及氮氣、壓縮空氣壓力報警功能； |
6 | 溶液槽中藥液自動供液按設定好比例混合，并可在工作過程中根據設定補液；客戶根據自身工藝條件自行設定； |
7 | 臺面為多孔結構，便于臺面上沖洗水、液的排出； |
8 | 操作面設有透明PVC安全門； |
9 | 設備設有漏電、急停、液位、過溫、安全門開、漏液、超時等保護和報警裝置，保證設備的安全可靠； |
10 | 配備有進口PFA，水、氣槍各一。 |
?
更多半導體兆聲清洗機設備（最終清洗機設備），可以關注南通華林科納半導體設備官網www.dianedb.com；現在咨詢400-8768-096，18913575037可立即免費獲取集成電路濕法處理設備的相關方案
?