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    Products 產品詳情
    產品名稱:

    兆聲清洗機-CSE

    上市日期: 2017-03-21

    半導體兆聲清洗機—華林科納CSE

    ?Mega sonic cleaning machine

    南通華林科納CSE-兆聲清洗機?適用于硅晶片 藍寶石晶片 砷化鎵晶片?磷化銦晶片 碳化硅晶片 石英晶片

    可處理晶片尺寸2"-8"

    可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;

    主要應用領域:半導體 太陽能光伏 液晶

    兆聲清洗機-CSE兆聲清洗機-CSE

    ?

    設備名稱

    CSE-兆聲清洗機

    類型

    槽式

    尺寸(參考)

    約3500(L)×1350 (W)×2300mm (H)

    清洗件規格

    4” 2籃50片

    設備凈重

    1T

    運行重量

    1.5T±10%

    電源

    380v 50hz

    功率

    70kw

    槽體尺寸

    200mm*400mm*260mm

    槽數

    6

    操作方式

    手動/半自動/全自動

    適用規格

    2英寸-8英寸

    適用領域

    半導體、太陽能、液晶等

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    設備穩定性

    1、清洗良品率≥99%

    2、≥0.2um顆粒少于10

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    產品簡介

    1

    設備機架采用不銹鋼骨架外包PP板,耐酸堿腐蝕;

    2

    電氣區設置在設備后上部,與濕區和管路區完全隔離;

    3

    槽體材料選用耐相應溶液腐蝕的材料;

    4

    機械手探入濕區部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理;

    5

    設備排風采用頂部百級FFU送新風,臺面下抽風,每套工藝清洗槽都有自動開閉的槽蓋,槽蓋下有單獨的抽風裝置,排風口處設有自動調節風門,即上電打開風門,斷電關閉風門,具有風壓檢測功能,以及氮氣、壓縮空氣壓力報警功能;

    6

    溶液槽中藥液自動供液按設定好比例混合,并可在工作過程中根據設定補液;客戶根據自身工藝條件自行設定;

    7

    臺面為多孔結構,便于臺面上沖洗水、液的排出;

    8

    操作面設有透明PVC安全門;

    9

    設備設有漏電、急停、液位、過溫、安全門開、漏液、超時等保護和報警裝置,保證設備的安全可靠;

    10

    配備有進口PFA,水、氣槍各一。

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    更多半導體兆聲清洗機設備(最終清洗機設備),可以關注南通華林科納半導體設備官網www.dianedb.com;現在咨詢400-8768-096,18913575037可立即免費獲取集成電路濕法處理設備的相關方案

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    2016 - 03 - 07
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    2016 - 03 - 07
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    2016 - 03 - 07
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