陶瓷盤清洗機-CSE設備名稱:陶瓷盤清洗機-華林科納CSE設備外型結構及主要參數 控制模式: 手動控制模式 自動控制模式。 清洗對象:陶瓷盤 設備形式: 室內放置型。 尺寸(參考,詳見圖紙,含地腳):3000 mm(L)× 1500 mm(W)× 2200 mm(H)。 機臺總體結構暫定分為兩部分,機械運行機構裝置與機臺前方;機臺前方為清洗工作區域及機械行走區,機臺后上方為電器和氣路布置區域,后下方為液路布置區域。更多半導體設備可以關注南通華林科納半導體設備官網www.dianedb.com;現在咨詢400-8768-096,18913575037,可立即免費獲取華林科納CSE提供的設備相關方案
兆聲波清洗機—華林科納CSE Mega sonic cleaning machine南通華林科納CSE-兆聲波清洗機 適用于硅晶片 藍寶石晶片 砷化鎵晶片 磷化銦晶片 碳化硅晶片 石英晶片可處理晶片尺寸2'-8';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應用領域:半導體 太陽能光伏 液晶等 設備名稱CSE-兆聲波清洗機類型槽式尺寸(參考)約3500(L)×1350 (W)×2300mm (H)清洗件規格4” 2籃50片設備凈重1T運行重量1.5T±10%電源380v 50hz 功率70kw槽體尺寸200mm*400mm*260mm槽數6個操作方式手動/半自動/全自動適用規格2英寸-8英寸適用領域半導體、太陽能、液晶等 設備穩定性1、清洗良品率≥99%2、≥0.2um顆粒少于10顆 產品簡介1設備機架采用不銹鋼骨架外包PP板,耐酸堿腐蝕;2電氣區設置在設備后上部,與濕區和管路區完全隔離;3槽體材料選用耐相應溶液腐蝕的材料;4機械手探入濕區部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理;5設備排風采用頂部百級FFU送新風,臺面下抽風,每套工藝清洗槽都有自動開閉的槽蓋,槽蓋下有單獨的抽風裝置,排風口處設有自動調節風門,即上電打開風門,斷電關閉風門,具有風壓檢測功能,以及氮氣、壓縮空氣壓力報警功能;6溶液槽中藥液自動供液按設定好比例混合,并可在工作過程中根據設定補液;客戶根據自身工藝條件自行設定;7臺面為多孔結構,便于臺面上沖洗水、液的排出;8操作面設有透明PVC安全門;9設備設有漏電、急停、液位、過溫、安全門開、漏液、超時等保護和報警裝置,保證設備的安全可靠;10配備有進口PFA,水、氣槍各一。 更多半導體兆聲清洗機設...
設備名稱:晶棒腐蝕機---CSE產品描述: ●此設備自動化程度高,腐蝕清洗裝置主要由水平通過式腐蝕清洗主體(槽體部分/管路部分等),移動機械傳送裝置,CDS系統,抽風系統,電控及操作臺等部分組成; ●進口優質透明PVC活動門(對開/推拉式),保證設備外部環境符合勞動保護的相關標準,以保證設備操作人員及其周圍工作人員的身體健康; ●機械臂定位精度高; ●整體設備腐蝕漂洗能力強,性能穩定,安全可靠; ●設備成本合理,自動化程度高,使用成本低;技術先進,結構合理,適宜生產線上大批次操作. ●非標設備,根據客戶要求具體定制,歡迎詳細咨詢!更多半導體清洗設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(www.hlcas.com),現在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
2設備構成及詳細技術說明2.1工藝說明 2.2.臺面結構圖如下 3.設備說明3.1 排風系統?●排風裝置(排風壓力、風量根據實際情況或客戶要求設計)將設備內揮發的有毒氣體抽到車間排風管道或戶外(室外排放遵守國家環保要求),避免擴散到室內;?●排風通道內設有風量導流板,從而使排風效果達到最佳;?●本體頂部后方自帶強力抽風1個風道口裝置(每個藥劑槽對應一個),排風口直徑大于或等于 200mm 與本體焊成一體;?●排風口處設有手動調節風門,操作人員可根據情況及時調節排風量;3.2設備防護門:?●本體前方安裝有防護隔離門,隔離門采用透明PVC板制成,前門可以輕松開合,在清洗過程中,隔離門關閉,以盡量改善工作環境并減小對人體的傷害. ?●形式:上下推拉門。3.3 給排水/廢液系統?●給水管路為一路去離子水;?●給排水排廢接頭均為活性連接;?●排放方式均采用氣動控制的方式來保證安全3.4 電氣控制系統?●采用優質PLC可編程控制器控制全操作過程, ?●人機界面為觸摸屏,接口中有手動操作、故障報警、安全保護等功能,各工作位過程完成提前提示報警,觸摸屏選用優質產品;?●觸摸屏加鎖定,以防非授權人員修改或設定參數;?●所有電控部分需獨立封閉,帶抽風系統,獨立的配電柜?●設備照明:設備其它部位--低電壓燈,根據工作需要可控照明;?●設備整體采取人性化設計,方便操作;并裝有漏電保護和聲光報警提示裝置,保證性能安全可靠;電控部分導線采用耐高溫、耐腐蝕的專用導線,電氣控制部分內部還通有壓縮空氣保護,可防水耐腐蝕;?●設備所有處于腐蝕腔中的線纜均通過PE管進行保護,免受腐蝕;?●設備具有良好的接地裝置;